Products Category： 标准设备

一款具有高速、高精度、高稳定性的自动平面镜/晶粒AOI分选设备，用于挑取固定在蓝膜上已划片的晶圆/类晶圆产品，AOI检测

实现 Wafer 在Cassette 、 from Canister、Canister之间的周转 。

该设备由自动上料系统、传输定位系统、自动测量系统、自动分选下料系统、智能化测控系统及计算机数据处理系统组成，可自动测量客户所需检测项目，根据工件的测值分选出合格件、不合格件，并可以就测量数据进行统计分析

搭配协作臂制作复合机器人。可以根据程序设定，自动到达指定点位，自动取放料，高效满足生产车间固定线路的柔性化物流搬运需求